1. 真空檢漏基本概念 

所謂漏氣是指氣體通過真空系統上的漏孔或間隙，從高壓流向低壓側的一種現象。

主要有以下幾點：

虛漏.氣密性.漏孔.漏率.最小可檢漏率.檢漏靈敏度.反應時間.消除時間.漏孔堵塞現象

2. 漏氣的判斷方法 

1）真空泵工作是否良好 

2）真空系統內是否存在嚴重放氣  

3）真空系統容器壁或間隙處是否漏氣 

4）是否漏氣與放氣現象共存

3. 真空檢漏法 

1）可動部分：傳動軸及其密封部分 

2）玻璃或陶瓷一類的易損部分

3）波紋管 

4）使用法蘭和墊圈的密封部分 

5）焊接部分的裂痕處  

4. 真空檢漏技巧 

1）對于正在加工制造過程中的真空容器或裝置來說，最好采用氣泡檢漏法 

2）對于正在使用過程中的真空容器或裝置來說，似乎沒有損壞，但現壓強急劇上升時，首先用點著的真空規和作為漏液體的酒精或丙酮，檢查認為容易損壞的地方。  

3）若盡管做了上述種種努力還是找不到漏孔，則要用罩子法或壓強上升法來判斷是否漏氣